三坐标测量机采用实时的温度补偿系统,共有8个温度传感器，X、Y、Z光栅两端各1个，被测产品上可以放置2个。传感器可以实时地感知实际温度，并将数据传输给控制系统和软件，软件根据当前的温度和选定的材料的热膨胀系数，在计算实际尺寸时将温度变化引起的产品尺寸变化考虑在判定结果内。
可测量各种精密机械零件的粗糙度和轮廓形状参数。用拟合法来评定园弧和直线等。从而可测量园弧半径、直线度、凸度、沟心距、倾斜度、垂直距离、水平距离、台阶等形状参数。仪器还可对各种零件表面的粗糙度进行测试；可对平面、斜面、外园柱面、内孔表面、深槽表面、圆弧面和球面的粗糙度进行测试,并实现多种参数测量。
轮廓仪的结构：仪器由花岗岩平板、工作台、传感器、驱动箱、显示器、电脑和打印机等部分组成.测量时可选定被测零件的不同位置，设定各种测量长度进行自动测量，评定段内采样数据达数万个点。并可显示或打印轮廓形状及其尺寸，各种粗糙度参数及轮廓的支承长度率曲线等。
三坐标的用途：可以测量模具产品，电子类产品，通讯类，汽车类等等很多。在一个工厂它的用途非常广泛。三坐标的结构：它主要有1.机械系统，2.测头系统，3.电气控制硬件系统，4.数据处理软件系统，5.电脑系统组成。
轮廓测量仪主要用于机械加工零件表面轮廓形状的测量；
三坐标即三坐标测量机，它是指在一个六面体的空间范围内，能够表现几何形状、长度及圆周分度等测量能力的仪器，又称为三坐标测量仪或三坐标量床。不限任何工件，看机器精度和软件功能可以测量复杂零件。
